工业去离子水设备工艺大致可分为以下三种：
种：采用阳阴离子交换树脂取得的去离子水，纯水处理设备，一般通过之后，出水电导率可降到10us/cm以下，再经过混床就可以达到1us/cm以下了。但是这种方法做出来的水成本极高，而且颗粒杂质太多，达不到理想的要求。目前已较少采用了。
第二种：预处理(即砂碳过滤器+精密过滤器)+反渗透+混床工艺，这种方法是目前采用的，因为反渗透投资成本也不算高，可以去除90%已上的水中离子，水处理设备报价，剩下的离子再通过混床交换除去，这样可使出水电导率：0.06左右。这样是目前的方法。
反渗透主机主要由增压泵，膜壳，反渗透膜，恩施水处理设备，控制电路等组成，是整个水处理系统中的部分，水处理设备安装，产水水质的好坏也取决该部分。只要膜的型号及增压泵的型号选取得当，反渗透主机对水中盐分的过滤能力都能达到99%以上，出水电导率可保证在10us/cm（25度）以内。
三、后处理部分主要是对反渗透主机制取的纯水作进一步的处理，如果后续工艺接离子交换或电去离子（EDI）设备，则可以制取工业用超纯水，如果是用在民用直饮水工艺上，则常常接后置杀菌装置，例如可以接纸外线杀菌灯或者臭氧发生器，从而使出来的水可以直接饮用。
水处理技术
1、软化法是指将水中硬度（主要指水中钙、镁离子）去除或降低一定程度的水。水在软化过程中，只是软化水质，而不能改善水质。
2、蒸馏法是指将水煮沸，然后收集蒸汽，使之冷却和凝结成液体。蒸馏水是极安全的饮用水，但有一些问题要进一步探讨。由于蒸馏水不含矿物质，这成为反对者提出人的寿命容易老化的理由。另外利用蒸馏法成本较高，耗费能源，不能去除水中挥发性物质。
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